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爱斯佩克环境仪器（上海）有限公司 >> 产品中心 >> 中液晶·半导体关联 >> 半导体洗净设备
等离子清洗机
　　

 

主要用途CSP、BGA、COB基板的等离子处理，有机膜和金属酸化膜除去PCB基板的干式清洗，界面活性处理等。

 

型号
PDC-200
PDC-210
PDC-510
等离子发生模式 附带RIF/DP切换器
高频率输出 最大300W 最高500W
电极构造 平行平板载物台（WxDmm）250x170
振荡频率 13.56MHz
内尺寸（WxHxDmm） 400x150x250 500x200x300
外尺寸（WxHxDmm） 540x600x600 700x700x700


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