枚叶式洁净烤箱
  

广泛应用在LCD生产线上涂好胶后的烘烙、退火、CF(彩色滤光片)的各工艺后烘熔等一列式热处理工序中的
专用洁净烤箱。
可对应从第一代平板到第十代的相关处理设备。真正实现更加均一的热处理及低颗粒化。
缩小随着玻璃的大尺寸化而增大的设备设置面积,从
而更有效地利用极其昂贵的洁净室空间。

● 烤箱内通过使用吊篮(Gondola),大大节省了玻璃多层收纳空间。
● 两层内槽结构及水平层流热风循环的加热方式,确保极高的温度分布性能。
●使用特殊耐热过滤器,实现低颗粒化

● 搬运机器人与冷却部及装卸部模块化

● 根据用途加配选购件。

HSC-9

 

玻璃基板尺寸 第1-10代
温度范围 +90~+300℃
温度无效 ±4.5℃ (玻璃表面温度 at+230℃)
洁净度 Class4 (FED 规格:Class10相当)
粒径0.3um 100个以内/lft
选购件 升华特解决方案


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